电子产品属于现代日常生活,没有它想象生活不再是可能的。 电脑、智能手机、汽车、家居控制设备、医疗设备及其他的高集成电路都基于半导体技术。
优势
市场由现代通信工具驱动,如智能手机、平板电脑、电视平板显示器或或物联网。无论是离子注入机、刻蚀还是PECVD设备 — 莱诺将为您找到高质量和高可靠性真空解决方案,以获得最佳性能。
半导体加工
市场由现代通信工具驱动,如智能手机、平板电脑、电视平板显示器或或物联网。无论是离子注入机、刻蚀还是PECVD设备 — 莱诺将为您找到高质量和高可靠性真空解决方案,以获得最佳性能。我们继续革新领先技术解决方案,这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平,同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本,努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。
平版印刷
平版印刷(即晶圆的图案形成)是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷一般不需要真空环境,但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空泵。Hokaido可以让您有效应对这两种应用。
化学气相沉淀
化学气相沉淀(CVD)系统具有多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程还以不同的压力和流量状态运行,其中的许多状态都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵和气体减排系统以便最大程度地延长我们产品的维修间隔并延长您制程的正常运行时间。
刻蚀
由于许多半导体的特征尺寸非常精细,刻蚀制程变得越来越复杂。此外,MEMS设备和3D结构的扩增对于具有高纵横比的结构越来越多地使用硅刻蚀制程。传统上来说,可以将刻蚀制程分组到硅、氧化物和金属类别。由于现今的设备中使用更多硬遮罩和高k材料,这些类别之间的界限已经变得非常模糊。现今的设备中使用的某些材料能够在刻蚀过程中顽强地抵抗蒸发,从而导致在真空组件内沉积。如今的制程确实变得比数年前更具有挑战性。我们密切关注行业和制程变化并通过产品创新与其保持同步,从而实现一流的性能。
离子注入
离子注入工具在前段制程中仍然具有重要的作用。与离子注入有关的真空挑战并未随着时间的推移而变得更加容易,而且我们认识到了在嘈杂的电子环境中操作真空泵时所面对的挑战。我们从未满足于绝对最低性能测试符合既定的电磁抗扰性测试标准。我们知道,注入工具上使用的泵将需要更高的抗扰性和特别的设计特性,以确保注入工具的高电压段不会干扰泵的可靠性。
文章来源:https://www.leynow.cn/Case/148.html
声明:文章如需转载请注明来源。本站部分文章和图片来源网络编辑,如存在版权问题请及时沟通处理。
莱诺集团在内地的主要服务商,公司集研发、销售真空泵并提供真空领域解决方案的高新技术企业,为广大用户提供最可靠的、安全易用的真空设备产品及优质专业的服务,帮助全球客户和合作伙伴取得成功。公司主要产品有:旋片真空泵、螺杆真空泵、罗茨真空泵、活塞真空泵等。
工业生产工艺和技术成果都来自于昂贵的研究和开发工作。产品在大规模生产之前都要仔细研究、测试和开发。优势莱诺为科研领域专门开发和定制产品,我们希望从在整个研发过程的开始就参与,成为您创新的伴侣。 这种方式既让我们获得了宝贵的经验,又能实现合作伙伴效益的...
通过空气卸下罐装车中的干燥颗粒物料,是最有效和最经济的材料运输方法。颗粒料大小和其它卸料情况可能大不相同。压缩机应用CNG 车辆添加燃料With over 2,000 CNG compression units supplied worldwide,...
握持和吊运为确保安全作业,通过吸入压头使被加工件自动夹紧在工作台上。必须产生稳定和持续的最小真空,确保在机械加工时将被加工件紧固。存储加工前后,必须防止环境影响,如热量、水分、昆虫和微生物等使木材遭到破坏。将木材用防腐液浸泡的做法被广泛采用,但不足之...
莱诺致力于新能源的开发和研究为光伏行业提供专业的真空解决方案。蚀刻,PECVD和层压 — 在莱诺您将找到高质量和高可靠性真空系统,以获得最佳性能。优势光伏晶体硅、CdTe、 CIGS 或硅薄膜技术等多种制程来生产捕获阳光并将其转换为能量的光伏电池,这...
在许多行业领域,液体、糊状和高水分产品脱气是现代真空工艺最重要的应用之一。利用真空技术抽除加工品中的气体、蒸汽和水分,有利于提高产品品质。塑料挤出过程中进行脱气就是一个例子。塑料熔化馏出的汽化水分和气体直接从挤出机螺杆区域抽出,大大改善了产品的结构和...
工业离不开真空技术的现代生产工艺。莱诺真空系统有助于让生产过程更清洁、更智能、 更经济、更环保。优势莱诺提供全系列的真空泵和附件,满足热处理应用最高的真空系统要求。热处理领域应用需求莱诺提供全系列的真空泵和附件,满足热处理应用最高的真空系统要求。淬火...